電子純試劑

高純試劑的一種分類，主要是針對的是電子元件中使用的化學試劑，又稱超凈高純試劑，最重要的特點就是金屬含量極低。用于硅片清洗,光刻,腐蝕工序，其純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。超凈高純試劑具有品種多、用量大、技術要求高、貯存有效期短和強腐蝕性等特點。