自1965年第 一臺商品掃描電鏡問世以來，經(jīng)過50多年的不斷改進(jìn)，掃描電鏡的分辨率已經(jīng)大大提高，而且大多數(shù)掃描電鏡都能與X射線能譜儀等附件或探測器組合，成為一種多功能的電子顯微儀器。在材料領(lǐng)域中，掃描電鏡發(fā)揮著極其重要的作用，可廣泛應(yīng)用于各種材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機(jī)制及材料性能預(yù)測等方面的研究，如圖1所示的納克微束FE-1050系列場發(fā)射掃描電鏡。

圖1 納克微束FE-1050系列場發(fā)射掃描電鏡

場發(fā)射掃描電鏡組成結(jié)構(gòu)可分為鏡體和電源電路系統(tǒng)兩部分，鏡體部分由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集和顯示系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)組成，電源電路系統(tǒng)為單一結(jié)構(gòu)組成。

1.1 電子光學(xué)系統(tǒng)

由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束，作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。

1.2 信號收集

檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。1.3 真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。

1.4 電源電路系統(tǒng)

電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓，穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。

圖3為掃描電鏡工作原理示意圖，具體如下：由電子槍發(fā)出的電子束在加速電壓（通常200V～30kV）的作用下，經(jīng)過兩三個電磁透鏡組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，電子束被聚成納米尺度的束斑聚焦到試樣表面。與顯示器掃描同步的電子光學(xué)鏡筒中的掃描線圈控制電子束，在試樣表面的微小區(qū)域內(nèi)進(jìn)行逐點逐行掃描。由于高能電子束與試樣相互作用，從試樣中發(fā)射出各種信號（如二次電子、背散射電子、X射線、俄歇電子、陰極熒光、吸收電子等）。

圖3 掃描電鏡的工作原理示意圖

這些信號被相應(yīng)的探測器接收，經(jīng)過放大器、調(diào)制解調(diào)器處理后，在顯示器相應(yīng)位置顯示不同的亮度，形成符合人類觀察習(xí)慣的二維形貌圖像或者其他可以理解的反差機(jī)制圖像。

由于圖像顯示器的像素尺寸遠(yuǎn)大于電子束斑尺寸，且顯示器的像素尺寸小于等于人類肉眼通常的分辨率，顯示器上的圖像相當(dāng)于把試樣上相應(yīng)的微小區(qū)域進(jìn)行了放大，而顯示圖像有效放大倍數(shù)的限度取決于掃描電鏡分辨率的水平。

早期輸出模擬圖像主要采用高分辨照相管，用單反相機(jī)直接逐點記錄在膠片上，然后沖洗相片。隨著電子技術(shù)和計算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，如今掃描電鏡的成像實現(xiàn)了數(shù)字化圖像，模擬圖像電鏡已經(jīng)被數(shù)字電鏡取代。

掃描電鏡是科技領(lǐng)域應(yīng)用最多的微觀組織和表面形貌觀察設(shè)備，了解掃描電鏡的工作原理及其應(yīng)用方法，有助于在科學(xué)研究中利用好掃描電鏡這個工具，對樣品進(jìn)行全面細(xì)致的研究。

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掃描電子顯微鏡怎么聚焦：深入了解聚焦技術(shù)的關(guān)鍵

掃描電子顯微鏡（SEM）是現(xiàn)代科學(xué)研究中不可或缺的工具，廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域。其高分辨率和成像能力使得研究人員能夠觀察到微觀結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)。SEM的高效使用離不開精確的聚焦操作，這直接關(guān)系到成像質(zhì)量和實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性。本文將詳細(xì)探討掃描電子顯微鏡的聚焦原理、操作步驟及常見問題，幫助用戶更好地掌握SEM聚焦技巧。

1. 掃描電子顯微鏡的基本工作原理

掃描電子顯微鏡通過電子束掃描樣品表面，利用樣品與電子束相互作用產(chǎn)生的信號來形成圖像。與光學(xué)顯微鏡不同，電子顯微鏡使用電子代替光線，因此可以在更高的放大倍率下觀察樣品。聚焦則是確保電子束準(zhǔn)確聚集到樣品表面特定位置，產(chǎn)生清晰圖像的關(guān)鍵過程。

2. 聚焦的關(guān)鍵步驟與技巧

聚焦掃描電子顯微鏡需要精確調(diào)節(jié)電子束的焦距和掃描參數(shù)。具體步驟包括：

• 調(diào)整電子槍：首先，通過調(diào)整電子槍電流和加速電壓來確保電子束穩(wěn)定。如果電子束過強或過弱，都會影響成像質(zhì)量。
• 粗聚焦與精細(xì)聚焦：通過調(diào)節(jié)物鏡（或聚焦透鏡）的電壓，粗略地將電子束聚焦到樣品上。之后，使用精細(xì)聚焦調(diào)節(jié)器，細(xì)致地調(diào)整焦距，確保圖像清晰。
• 掃描范圍調(diào)節(jié)：確保掃描區(qū)域與樣品的實際大小相匹配。過大的掃描區(qū)域可能導(dǎo)致圖像模糊，過小則可能錯過關(guān)鍵信息。

3. 聚焦時常見問題及解決方法

在使用SEM時，聚焦不準(zhǔn)是常見的問題之一。常見問題及其解決方法如下：

• 圖像模糊：可能是因為電子束未正確聚焦，需再次調(diào)整焦距或電子槍參數(shù)。
• 焦點漂移：長期使用可能導(dǎo)致電子束位置漂移。此時需要重新校準(zhǔn)儀器，檢查電壓和電流設(shè)置。
• 樣品表面不平整：表面粗糙或結(jié)構(gòu)復(fù)雜的樣品容易造成聚焦困難。應(yīng)選用適當(dāng)?shù)姆糯蟊堵剩⒆⒁鈽悠返奶幚砗蜏?zhǔn)備工作。

4. 聚焦技術(shù)的未來發(fā)展趨勢

隨著電子顯微鏡技術(shù)的不斷進(jìn)步，聚焦技術(shù)也在不斷發(fā)展。例如，自動化聚焦系統(tǒng)的出現(xiàn)大大提高了操作的度和效率，同時降低了操作人員的技能要求。未來，結(jié)合人工智能和機(jī)器學(xué)習(xí)的自動聚焦技術(shù)有望進(jìn)一步提升掃描電子顯微鏡的性能，優(yōu)化實驗流程。

結(jié)論

掃描電子顯微鏡的聚焦技術(shù)是確保高質(zhì)量成像的核心。在實際操作中，了解聚焦的基本原理，掌握聚焦技巧，并及時解決常見的聚焦問題，能夠大幅提高實驗的精確度與效率。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，未來SEM的聚焦過程將變得更加自動化和智能化，為科學(xué)研究提供更為強大的支持。