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動態(tài)干涉儀Kaleo-Multiwave

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產(chǎn)品特點

有別于基于傳統(tǒng)Fizeau 干涉儀的方法,采用位相檢測方法直接構(gòu)建的動態(tài)干涉 儀既不需要移動待測元件多次曝光,也不需要采用偏振等復(fù)雜的光學(xué)手段,針 對待測元件進行一次測量即可獲得其反射面型或透過波差;Kaleo-Multiwave 多 色動態(tài)干涉儀可用于光學(xué)元件面型檢測、透過波差測試、大型望遠鏡系統(tǒng)測試 及實時調(diào)整等。大動態(tài)范圍像差測試能力使其可測平面/ 球面波而無需中繼鏡, 無色差檢測能力允許使用多個波長甚至白光進行測試。 Kaleo-Multiwave 集成了可切換波長的準直光源,可以對大口徑鏡片進行直接或?qū)Ρ葴y量

詳細介紹

有別于基于傳統(tǒng)Fizeau 干涉儀的方法,采用位相檢測方法直接構(gòu)建的動態(tài)干涉儀既不需要移動待測元件多次曝光,也不需要采用偏振等復(fù)雜的光學(xué)手段,針對待測元件進行一次測量即可獲得其反射面型或透過波差;Kaleo-Multiwave 多色動態(tài)干涉儀可用于光學(xué)元件面型檢測、透過波差測試、大型望遠鏡系統(tǒng)測試及實時調(diào)整等。大動態(tài)范圍像差測試能力使其可測平面/ 球面波而無需中繼鏡,無色差檢測能力允許使用多個波長甚至白光進行測試。
Kaleo-Multiwave 集成了可切換波長的準直光源,可以對大口徑鏡片進行直接或?qū)Ρ葴y量。

光路結(jié)構(gòu)

雙通路測試

測量能力

反射波前面型測量,透射元件波差測量

光源

標準:1/2 路工作波長,ZG可集成 8 路波長

波長選擇

193nm ~ 14 m,如 266、355、405,550、625、780、

940、1050nm,紅外 1.55、2、3.39、10.6 m 等

有效口徑

5.1”,130mm

光學(xué)中心高度

108mm

對準功能

實時相位 / 澤尼克多項式顯示

視場角對準范圍

±2°

可調(diào)對焦范圍

±2.5m

使用環(huán)境

無需隔振

RMS 可重復(fù)性

<0.7 nm

測量精度

80nm p-v

動態(tài)范圍(離焦值)

500 條紋 (SFE = 150 m)

可測反射率范圍

4% ~ 100%


Fizeau 干涉儀(左)與Kaleo-MTF(右)測試鏡片結(jié)果比較

技術(shù)資料

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