光譜橢偏儀SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā)，快速實現(xiàn)光學薄膜原位表征分析。光譜橢偏儀廣泛應用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學氣相沉積，ALD沉積等光學薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。