TESCAN VEGA 第四代鎢燈絲掃描電子顯微鏡，采用全新的 Essence? 電鏡操控軟件系統，將掃描形貌圖像與元素實時分析集成于同一個掃描窗口中。這種組合大大簡化了樣品表面形貌的采集及所含元素的數據分析工作，使得全新的第四代 VEGA SEM 成為質量控制、故障分析和研究實驗室中常規材料等檢測提供更高效的分析的解決方案。

TESCAN VEGA 采用創新的電子光學設計，確保在需要時即時、無縫地選擇成像或分析條件，無需對任何電子光學鏡筒內的元件進行機械對中。可以配置真空緩沖節能單元，使用后可顯著縮短機械泵的運行時間，從而達到節能、環保的要求。

主要特點:

• 完全集成的 TESCAN Essence? EDS 分析平臺，在 Essence? 電鏡操控軟件的單一窗口中即可實現 SEM 成像和元素成分分析。

• TESCAN 采用獨特的無機械光闌設計，采用實時電子束追蹤（In Flight Beam Tracing?）的技術，可幫助用戶快速獲得電鏡合適的成像及分析條件。

• 獨特的大視野光路（Wide Field Optics?）設計，最低至2倍的放大倍數，無需額外的光學導航攝像頭即可輕松、精確地實現 SEM 導航。

• 直觀、模塊化的 Essence? 軟件設計，不同經驗等級的用戶均可輕松操作。

• 在樣品臺及裝置的樣品運動過程中，Essence? 3D 防碰撞模塊可以直觀的顯示安裝樣品室內的探測器及樣品臺的位置信息，提供安全性的保護。

• SingleVac? 模式作為標準配置，為觀測不導電樣品和電子束敏感的樣品提供便利的分析利器。

• 可選配的真空緩沖節能單元可顯著縮短機械泵的運行時間，提供環保、高經濟效益的電子顯微鏡。

• 模塊化分析平臺，可選配集成最多種類的探測器和附件（如陰極熒光探測器，水冷背散射電子探測器或拉曼光譜儀等）。

大視野設計，實現低倍精確導航

利用大視野光路(Wide Field Optics?)技術，用戶可通過掃描窗口實時觀察樣品，直接實現感興趣位置的精確導航。大視野光路技術取代了傳統的CCD導航相機，提供無與倫比的大景深，同時也提供樣品實際形貌的圖像，實現更直觀、先進的樣品導航過程。在 SEM 觀測窗口中，最小2倍的放大倍率保證了大視野無畸變的圖像實時觀測，可連續放大感興趣的區域，無需光學導航相機。實時的SEM窗口同樣可與預傾斜樣品臺（如 EBSD 預傾臺）配合使用，對于需要傾斜分析的樣品，支持掃描傾斜校正，從而實現更精確的導航。

自動操作

通過一次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間，并提供了操作的自動導航與自動化分析。通過內置腳本語言（Python）用戶可以進入軟件大多數功能，包括電鏡控制、樣品臺導航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。

全新的 EssenceTM 電鏡控制軟件

• 用戶界面有各種語言版本。

• 集成的  Essence? EDS 能譜軟件，輕松快捷地實現從成像切換到元素分析，通過軟件一鍵即可實現所有設置參數的更改。
  

• 具備快速搜索功能、命令撤消及參數預設等多種功能，幫助用戶高效、快捷地完成分析工作。

• 允許用戶設定符合其自身體驗水平或特定應用的工作流程。

• Essence? 防碰撞模型軟件能夠直觀的模擬出樣品室內情況，有效避免碰撞的發生。
  

• 內置的自動系統檢查。

• 通過局域網或互聯網可實現電鏡遠程診斷。

• 模塊化軟件體系結構。

• 標準的軟件模塊包括了：光電聯用、測量工具、圖像處理、對象區域等。

• 選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構等。

軟件：

• 測量軟件, 公差測量軟件
  

• 圖像處理

• 預設參數

• 直方圖及LUT

• SharkSEM? 基礎版 (遠程控制)

• 3D 防碰撞模型軟件

• 對象區域

• 光電聯用

•  定時關機

• CORAL?（用于生命科學的電鏡模塊）

• 自動拼圖軟件

• 樣品觀察

• TESCAN Flow? (離線處理軟件)

根據實際配置和需求

探測器和附件：

• 皮安計，包含防碰撞報警功能

• 樣品室內 Everhart-Thornley 式二次電子探測器 (SE)

• 用于觀察樣品室內部情況的紅外攝像機

• 可伸縮-閃爍體式背散射電子探測器

• 陰極熒光探測器

• 共聚焦拉曼光譜
  

• 其它各種附件可供選擇