一個微觀厚度測量領域的顛覆性產品。已經廣泛應用在半導體晶圓的納米測量以及電池防爆片領域；設備能夠快速定位、智能編程、快速測量；在刻痕一圈取盡量多任意數量的點，進行快速自動化測量。數據更具科學性。編程后可zui多一次放在15個樣品進行批量自動化測量，獲取更多批量樣品的平均值，數據額更具代表性。

EPS防爆片刻痕深度測量儀技術規格書

一、產品介紹：

EPS-2T刻痕測厚儀是一款微觀測厚領域的顛覆性產品，采用白光光譜技術精 準定位獲得樣品表面信息，通過上下同心鏡頭對被測點的絕 對位置，zui終獲得精 準測量數據；設備同時還具備宏觀成像導航功能，根據實時圖像任意選擇被測量，為光譜鏡頭提供導航及坐標定位。

EPS-2T特點：其是一個微觀厚度測量領域的顛覆性產品。已經廣泛應用在半導體晶圓的納米測量以及電池防爆片領域；設備能夠快速定位、智能編程、快速測量；在刻痕一圈取盡量多任意數量的點，進行快速自動化測量。數據更具科學性。編程后可zui多一次放在15個樣品進行批量自動化測量，獲取更多批量樣品的平均值，數據額更具代表性。

產品能力：

可實現對樣品的多點掃描或線掃描及陣列掃描，一次性數據采集后通過專業光譜影像復合軟件計算， 實時對厚度測量判定；

本光譜測頭系統, 完全非接觸式測量，保護工件免受劃痕；

全花崗石結構設計，高精度花崗石底座，立柱，保證機器的長期穩定性；

精密絲杠傳動，高速，無間隙，靈敏可靠，定位準確，運動精度高；

海康 高分辨率 CCD，高清晰度的影像效果，保證測量時高品質的畫面；

伺服閉環控制,鼠標或搖桿操控，全自動 CNC 功能： 自動對焦， 自動量測， 自動尋邊，

自動燈光調整，保證測量高效率。

專 利多重空間燈光照明系統：在面對某些特殊被測量物時，利用不同光線效果，

能更精 準地抓取產品尺寸，達到上光源精 準測量時的高重復精度.

二、技術參數：

三、測試原理：

EPS-2T是一款高性能復合式雙激光全自動測厚儀，采用亞納米級白光光譜對焦原理，對被測樣品進行上下面同心高精度對焦，來獲取精確的樣品厚度。

測試方法：

EPS-2T通過光學圖像導航系統進行光學成像、圖像導航、坐標定位、軟件編程、設定測試點位/數量。白光雙鏡頭通過定位進行快速自動化測量形成厚度數據。

四、儀器結構：

五、儀器測量方法機器結構介紹

結構介紹：設備主體結構平臺、Z軸支架均有大理石制成，是實現設備高精度/重復性的保證。設備主題有一組配置上下LED光源及同軸光光源的光學自動變倍鏡頭、上下同心雙光譜鏡頭組成，XY自動掃描臺、Z自動變焦、高清CCD集合而成的一套高精度光學系統。

測試方法：

光學鏡頭A進行圖像識別、設定測試點位、編程被測點的坐標。
白光光譜鏡頭B/B1雙鏡頭，通過光學鏡頭導航點位進行全自動測量！

測試方法：

 方法一、導入防爆片產品圖紙，確定測試位置坐標，光譜鏡頭根據坐標定位找點，上下鏡頭對接，自動測量、通過XY軸自動移動，實現批量測。

 方法二、無圖紙測量：對治具上的防爆片進行圖像實時成像，選取需要測試的點群，上下鏡頭對接，自動測量、通過XY軸自動移動，實現批量測。

產品優勢說明：

行業痛點：防爆片測量受限于目前傳統測量設備的精度、效率、人為干擾等因素影響，無法對單一刻痕深度進行多點測量（一般只選擇10-40個點之間）。所以這些很微觀的點代表整個樣品的刻痕深度并不科學。更無法對多個樣品進行快速批量檢測。zui終導致:抽樣量數量不夠科學。單樣測試數據不夠科學。

EPS-2T特點：其是一個微觀厚度測量領域的顛覆性產品。已經廣泛應用在半導體晶圓的納米測量以及電池防爆片領域；設備能夠快速定位、智能編程、快速測量；在刻痕一圈取盡量多任意數量的點，進行快速自動化測量。數據更具科學性。編程后可zui多一次放在15個樣品進行批量自動化測量，獲取更多批量樣品的平均值，數據額更具代表性。

六、儀器的維護與保養：

是一種光、電、機一體化的精密測量儀器，需要有經常和良好的維護與保養，以保 持儀器良好的使用狀態，這樣才可以保持儀器原有的精度和延長儀器的使和壽命。

1、儀器應放在清潔干燥的室內 (室溫 20℃±5℃，濕度低于 60%) ，避免光學零件表面污損，金 屬零件生銹，塵埃雜物落入運動導軌，影響儀器機能。

2、儀器使用完畢，工作面應隨時擦拭干凈，zui好再罩上防塵套。

3、儀器的傳動機構及運動導軌，應定期加潤滑油，使機構運動順暢，保持良好的使用狀態。

4、工作臺玻璃及油漆表面臟了，可以用中性清潔劑與清水擦拭干凈，絕不能用有機溶劑擦拭油漆 表面，否則，會使油漆表面失去光澤。

5、儀器 LED 光源使用壽命很長，但當有燈泡燒壞時，仍請通知廠商，由專業人員為您更換。

6、光譜鏡頭在工作過程中均為靜態，非人為/外力因素不會損壞。

6、儀器精密部件，如影像系統、工作臺、光學尺以及 Z 軸傳動機構等均需精密調校，所有調節螺 絲與緊固螺絲均已固定，客戶請勿自拆卸，如有問題請通知廠商解決， 自行拆卸造成儀器故障或 精度降低，不在保修范圍內。

7、計算機上測量軟件，已對工作臺與光學尺的誤差進行了精確補償，請勿自行更改，否則，會產 生錯誤的測量結果。

8、儀器所有電氣接插件、一般不要拔下，如已拔掉，則必須按標記正確插回并擰緊螺絲，不正確 的接插，輕則影響儀器功能，重則可能損壞系統。

9、儀器要接地，機座后面電源接口板有標識，且要求儀器使用方，電源插座要有地線

七、儀器成品圖：

八、產品驗收流程

1儀器交貨期：10天

2驗收條款：

外觀良好、儀器正常運行、按原廠技術標準驗收

九、安裝調試和培訓

安裝調試：客戶指定地點到貨后，三日內安排工程師現場拆箱，按照相應程序驗收和安裝調試產品。設備安裝調試后三日內，根據確定的人數在客戶所在單位對所供產品設備提供詳細的培訓課程，內容包括相應試驗標準、設備原理、設備要點、設備操作和設備日常維護。

十、質量保證和售后服務

質量保證：提供的是原廠生產的產品，符合國家、行業的質量檢測標準，具有正規的質量保證書或者合格證。

免費質保期：我司對售后產品提供一年保質期（易損壞件和消耗性用品除外，自安裝驗收合格之日起一年內），在保質期內如非人為因素損壞，我司將提供免費維修或免費更換配件。 

響應：我方在接到用戶故障通知后8小時內響應，在用戶不能自行維修的情況下，48小時內我方維修工程師到用戶現場維修。

保修期滿之后，賣方對設備的維修僅收取工時和交通費用，涉及設備相關配件的更換和購買，賣 方僅收取成本費用。

維修站點：FLIR廠家上海辦事處負責保修和維修服務。