產品名稱：多路浮子控制供氣系統

主要特點：

本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其是方便三種氣體切換使用，而不會造成大氣進入加熱爐管。
氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。
每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
顯示流量準確，可有效地控制氣體消耗量。
所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。

工作原理：

由氣體鋼瓶輸入兩種氣體，形成A，B兩種組份，經過減壓閥減壓，輸出所需流量的氣體，再通過調節每一組分的體積流量，輸出預定比例關系的混合氣體，達到加熱爐所需求得氣氛。三個連接頭可連接二或三只氣體鋼瓶（只能同時啟用二個鋼瓶），如：H2/AR，H2/N2，O2/N2等。
嚴禁氫氣和氧氣同時供氣，保證安全。
將配比器進口的三個連接頭直接連接到15MPa的供氣鋼瓶上，其中之一是氫氣專用連接頭，選擇連接好兩種氣體，按順序開啟供氣鋼瓶上閥門、配比器上對應高壓截止閥及三只流量計旋鈕，再旋轉減壓閥旋鈕增大氣體壓力，調節兩種氣體流量，輸出所需要的壓力和流量。
本供氣（混氣）系統可用于多種氣體單一/混合連續供氣系統，尤其方便多種氣體的切換混合使用；氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，操作方便；每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全可靠！本系統廣泛用于CVD供氣系統，氣體保護燒結，氣體保護退火等。

技術參數：

氣路通道：6（可根據客戶需求設計1-8通道）
氣路流量控制器： 采用質量流量計控制
標準量程（N2)：200，500 SCCM
準確度：±1.5%
線性：±0.5～1.5%
重復精度：±0.2%
響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
最大壓力：3MPa
接口：Φ6,1/4''
顯示：4位數字顯示
工作環境溫度:5~45高純氣體
不銹鋼管：Φ6（外）X Φ4內
壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥：Φ6