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Accurion EP4 成像橢偏儀
- 品牌：Park原子力顯微鏡
- 型號： Accurion EP4
- 產地：亞洲 韓國
- 供應商報價：面議
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Park原子力顯微鏡公司
更新時間：2024-04-08 10:16:50 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照已審核
- 同類產品成像光譜橢偏儀(2件)
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詳細介紹
EP4是新一代的成像橢偏儀，它有機地結合了傳統光譜橢偏儀和光學顯微鏡技術。這使得我們能夠在小至1μm的微結構上以橢偏儀的靈敏度表征薄膜厚度和折射率。顯微鏡部分能夠同時測量光學系統全視場范圍內的所有結構。傳統的橢偏儀注重于測量整個光斑，而不能實現高精度的橫向分辨率，并且需要逐點測量。 EP4的顯微鏡功能使得我們能夠獲得微觀結構的橢偏增強對比圖像。在相機的實時圖像中可以看到折射率或厚度的微小變化。允許識別橢偏測量的感興趣區域（選區測量），以獲得厚度（0.1 nm-10μm）和折射率的值。單次測量就可以獲取厚度和折射率橫向變化的3D圖。 各種聯用技術，例如原子力顯微鏡（AFM）、石英晶體微天平（QCM-D）、反射式測量儀、拉曼光譜儀等等，可以對同一區域進行原位分析。 另有在各種受控溫度和氣氛環境下測量的附件可選。
顯微鏡方式的橢偏測量
視野內所有像素的同時測量
每個像素的光譜橢偏測量
最 高橫向橢偏分辨率
可以在小至1微米的微結構上確定厚度和折射率
先識別，再測量
通過在實時橢偏視圖中繪制區域直觀選擇測量區域
連續光譜成像橢偏測量
從紫外到近紅外
主要功能
模塊化配置：從布魯斯特角顯微鏡、單波長成像橢偏儀、多波長成像橢偏儀、全光譜成像橢偏儀，在不同配置之間可輕松升級。
波長范圍190/250/360nm至1000/1700/2700 nm的光譜成像橢偏儀
橫向分辨率低至1um，可測量小至1um的微結構的厚度和折射率
用于樣品實時可視化觀測的橢偏增強對比度圖像
先圖像識別樣品，然后再測量：在實時視場中直觀地選擇測量區域（選區測量）
所選視場內多個區域（多個選區）的平行測量
光斑切割技術，消除橢偏測量的背底反射
多種附件可選，如電化學池、溫度控制或液體處理樣品池，滿足多種測量需求
質量控制：提供OEM版本用于產品線中的質量控制
應用
2D材料
成像光譜橢偏儀表征石墨烯和其他2D材料，使用ep4橢偏儀分析CVD生長、剝離和外延生長的薄片。
曲面橢偏法測量平面和曲面上的薄膜和AR涂層。ep4橢偏儀解決了微透鏡陣列上的AR涂層問題。
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生物界面成像橢偏法(IE)對單層和亞單層厚度具有高靈敏度。它提供了橢偏角的顯微圖和厚度變化的對比模式。像細胞和QCM-D這樣的附件增強了其生物應用能力。
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