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臺式三維原子層沉積系統ALD
- 品牌：美國ARRADIANCE
- 型號： GEMStar XT
- 產地：美洲 美國
- 供應商報價：面議
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QUANTUM量子科學儀器貿易（北京）有限公司
更新時間：2025-06-03 09:45:12 -
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產品特點
- 美國ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺式 ALD系統，在小巧的機身（78 x56 x28 cm）中集成了原子層沉積所需的所有功能，可zui 多容納9片8英寸基片同時沉積。GEMStar XT全系配備熱壁，結合前驅體瓶加熱，管路加熱，橫向噴頭等設計，使溫度均勻性高達99.9%，氣流對溫度影響減少到0.03% 以下。高溫度穩定度的設計不僅實現在8英寸基體上實現膜厚的不均勻性優于99%，而且更適合對超高長徑比的孔徑結構等3D結構實現均勻薄膜覆蓋，可實現對高達1500: 1長徑比微納深孔內部的均勻沉積。
詳細介紹
原子層沉積（Atomic layer deposition, ALD）是通過將氣相前驅體脈沖交替的通入反應器，化學吸附在沉積襯底上并反應形成沉積膜的一種方法，是一種可以將物質以單原子膜形式逐層的鍍在襯底表面的方法。因此，它是一種真正的“納米”技術，以精確控制方式實現納米級的超薄薄膜沉積。由于ALD利用的是飽和化學吸附的特性，因此可以確保對大面積、多空、管狀、粉末或其他復雜形狀基體的高保形的均勻沉積。
美國ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺式 ALD系統，在小巧的機身（78 x56 x28 cm）中集成了原子層沉積所需的所有功能，可多容納9片8英寸基片同時沉積。GEMStar XT全系配備熱壁，結合前驅體瓶加熱，管路加熱，橫向噴頭等設計，使溫度均勻性高達99.9%，氣流對溫度影響減少到0.03% 以下。高溫度穩定度的設計不僅實現在8英寸基體上實現膜厚的不均勻性優于99%，而且更適合對超高長徑比的孔徑結構等3D結構實現均勻薄膜覆蓋，可實現對高達1500: 1長徑比微納深孔內部的均勻沉積。
GEMStar XT 產品特點：
* 300℃ 鋁合金熱壁，對流式溫度控制
* 175℃溫控150ml前驅體瓶，200℃溫控輸運支管
* 可容納多片4，6，8英寸樣品同時沉積
* 可容納1.25英寸/32mm厚度的基體
* 標準CF-40接口
* 可安裝原位測量或粉末沉積模塊等選件
* 等離子體輔助ALD插件
* 多種配件可供選擇
GEMStar XT 產品型號：
GEMStar XT：
* 大8英寸/200 mm基片沉積（4'和6' 可選）
* 單/雙路前驅體輸運支管， 4/8路前驅體瓶接口
* 不可升級為等離子體增強ALD
GEMStar XT-R：
* 大8英寸(200mm)基片沉積（4'和6' 可選）
* 單/雙路前驅體輸運支管， 4/8路前驅體瓶和CF-40接口
* 可升級為等離子體增強ALD
GEMStar XT-P：
* 大8英寸/200mm基片沉積（4'和6 '可選）
* 單/雙路前驅體輸運支管， 4/8路前驅體瓶和CF-40接口
* 裝備高性能ICP等離子發生器
13.56 MHz 的等離子源非常緊湊，只需風冷， 高運行功率達300W。
* 標配3組氣流質量控制計（MFC）控制的等離子氣源線，和一條MFC控制的運載氣體線，使難以沉積的氧化物、氮化物、金屬也可以實現均勻沉積。
新產品發布： 
GEMStar NanoCUBE： * 大100 mm 立方體樣品 沉積
* 單路前驅體輸運支管， 2路前驅體瓶接口
* 主要用于3D多孔材料，以及厚樣品的沉積
豐富配件：
多樣品托盤：
* 多樣品夾具，樣品尺寸（8", 6", 4"）向下兼容。
* 多基片夾具，多同時容納9片基片。
溫控熱托盤：
* 可加熱樣品托盤， 高溫度500℃，可實現熱盤-熱壁復合加熱方式。
粉末沉積盤：
臭氧發生器：
真空進樣器（Load Lock） 
晶振測厚儀 
前驅體瓶： 
前驅體加熱套 
粉末旋轉沉積罐模塊：
配合熱壁加熱方式，進一步實現對微納粉末樣品全保型薄膜均勻沉積包覆。
手套箱接口：
可從側面或背面wan美接入手套箱，與從底部接入手套箱不同，不占用手套箱空間。由于主機在手套箱側面，反應過程中不對手套箱有加熱效應，不影響手套箱內溫度。
應用案例
應用領域
國內外用戶
已發表文獻
? Lo?c Assaud et al. Systematic increase of electrocatalytic turnover over nanoporous Pt surfaces Prepared by atomic layer deposition. J. Mater. Chem. A (2015) DOI: 10.1039/c5ta00205b
? Xiangyi Luo et al. Pd nanoparticles on ZnO-passivated porous carbon by atomic layer deposition: an effective electrochemical catalyst for Li-O2 battery. Nanotechnology(2015) 26, 164003. DOI:10.1088/0957-4484/26/16/164003
? HengweiWang, et al. Precisely-controlled synthesis of Au@Pd core–shell bimetallic catalyst via atomic layer deposition for selective oxidation of benzyl alcohol. Journal of Catalysis (2015) 324, 59–68. DOI: 10.1016/j.jcat.2015.01.019
? Sean W. Smith, et al. Improved oxidation resistance of organic/inorganic composite atomic layer deposition coated cellulose nanocrystal aerogels. J. Vac. Sci. Technol. A (2014) 4, 32 DOI: 10.1116/1.4882239
? Fatemeh Sadat MinayeHashemi et al. A New Resist for Area Selective Atomic and Molecular Layer Deposition on Metal?Dielectric Patterns. J. Phys. Chem. C (2014), 118, 10957?10962. DOI: 10.1021/jp502669f
? Jeffrey B. Chou, et.al Enab領 Ideal Selective Solar Absorption with 2D Metallic Dielectric Photonic Crystals. Adv. Mater. (2014), DOI: 10.1002/adma.201403302.
? Jin Xie, et al. Site-Selective Deposition of Twinned Platinum Nanoparticles on TiSi2 Nanonets by Atomic Layer Deposition and Their Oxygen Reduction Activities. ACS Nano (2013), 7, 6337–6345. DOI: 10.1021/nn402385f
? Pengcheng Dai, et al. Solar Hydrogen Generation by Silicon Nanowires Modified with Platinum Nanoparticle Catalysts by Atomic Layer Deposition. Angew. Chem. Int. Ed. (2013), 52, 1 –6. DOI: 10.1002/anie.201303813
? Joseph Larkin et al. Slow DNA Transport through Nanoporesin Hafnium Oxide Membranes. ACS Nano (2013), 11, 10121–10128. DOI: 10.1021/nn404326f
? Thomas M et al. Extended lifetime MCP-PMTs: Characterization and lifetime measurements of ALD coated microchannel plates, in a sealed photomultiplier tube Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A (2013) 732, 388–391. DOI: 10.1016/j.nima.2013.07.023
? Kevin J. Maloney et al. Microlattices as architected thin films: Analysis of mechanical properties and high strain elastic recovery. APL Mater. 1, 022106 (2013) DOI: 10.1063/1.4818168
? Sean W. Smith et al. Improved Temperature Stability of Atomic Layer Deposition Coated Cellulose Nanocrystal Aerogels. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (2012) DOI: 10.1557/opl.2012.
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