儀器簡介：
HidenEQP是一臺結合質量和能量分析的儀器（MassandEnergyAnalyserforPlasmaDiagnostics），用于分析等離子過程中陰、陽離子、中性粒子以及自由基。


技術參數：
應用：

蝕刻 / 沉積作用研究
離子植入 / 激光燒蝕
殘余氣體分析 / 泄漏檢測
等離子體電感耦合，即在操作中遵從電極設定條件
通過視口、接地電極和驅動電極進行分析


主要特點：
軟件控制的離子汲取光學系統，以使等離子體擾動最小
45°靜電扇區分析器，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
所有能量范圍內，離子行程的最小擾動，及恒定離子傳輸
帶差式泵的三級過濾四極桿，質量數范圍至2500amu
高靈敏度 / 穩定的脈沖離子計數檢測器，有7個數量級的動態范圍
可調諧的離子源，用于電子附著選件的表觀電勢質譜分析
Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質量分布隨時間的變化
1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
通過RS232、RS485或Ethernet LAN，控制軟件MASsoft