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電子廠煙氣監測系統

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詳細介紹

電子制造工業中,對煙囪排放的氯化物、氟化物、苯系物等氣體監測非常重要,OPSIS 擁有專為電子廠這種環境而設計的連續排放監測系統。為了提高在全世界許多應用場所的可靠性和運轉性能,OPSIS可以滿足電子芯片制造業多樣化的需求。采用DOAS (差分吸收光譜法)的Opsis系統是一條開放式光徑,無須接觸被監測氣體的監測系統,就不會受廢氣排放過程中的氣體、高溫和微粒的影響。一套系統可以實時在線地監測用戶指定的一系列物質, OPSIS系統具有高準確性、高可靠性和很強的數據采集處理能力。OPSIS同樣可以滿足過程控制對響應速度的要求。
  一套OPSIS 系統可以監測多種物質。通常監測的氣體,諸如為了符合電子廠的某些特別需求,監測HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……

應用原理:差分吸收光譜法(DOAS)
系統結構:


監測項目:

序號

監測項目

分析方法

供應廠商

1

HCL

DOAS

瑞典 OPSIS

2

HF

DOAS

瑞典 OPSIS

3

CL2

DOAS

瑞典 OPSIS

4

DOAS

瑞典 OPSIS

5

甲苯

DOAS

瑞典 OPSIS

6

二甲苯

DOAS

瑞典 OPSIS

7

……

技術特點:

  • 無需抽取采樣,不改變工況條件,在線實時連續測量
  • TV,MCERTS 等國際認證
  • 煙道光路上平均濃度,代表性強
  • 多氣體,多光路技術(反應時間快)
  • 使用壽命長,維護量小,運營成本低(**耗件氙燈)
  • 一年只需要校準 1-2 次
  • 技術成熟,應用范圍廣

主要設備:

DOAS 分析儀 DOAS 接收/發射端


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環境空氣苯系物在線監測系統,可參見“苯系物氣體在線監測系統

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