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透射電子顯微鏡 H-9500

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產品特點

為了滿足這種高端需求,日立高新技術公司研發出了 H-9500透射電子顯微鏡,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實地驗證過的各種性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨特功能,并采用了zuixin的數字技術,便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結構信息。

詳細介紹

為了滿足這種高端需求,日立高新技術公司研發出了 H-9500透射電子顯微鏡,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實地驗證過的各種性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨特功能,并采用了zuixin的數字技術,便于用戶及時快速獲取原子水平的樣品結構信息。


原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡

在精細加工技術已進入到亞納米級水平的半導體,先進材料的研發領域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,不可或缺的工具。
 

特色

用戶友好型的操作系統

  • 和Windows?兼容的圖形用戶界面設計

  • 快速的樣品分析,1分鐘換樣,5分鐘內升高壓至(300 kV)

  • 高穩定性,高分辨率透射電子顯微鏡

高穩定性,高分辨率透射電子顯微鏡

  • 點分辨率為0.18 nm,晶格分辨率為0.1 nm

  • 穩定可靠的5軸優中心測角臺

  • 性能優異,可靠性高

性能優異,可靠性高

  • 得到市場驗證的10級加速器電子槍設計

  • 阻抗式高壓電纜設計

  • 高 檔可選附件

高 檔可選附件

  • 通用樣品桿,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系統均可使用

  • 可為原子分辨率的動態研究提供加熱,冷卻和氣體注入等多種樣品桿

備注:FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。

規格
項目說明
分辨率0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(點分辨率)
加速電壓300kV、200kV*1、100kV*1
放大倍率連續放大模式1,000~1,500,000×
選區模式4,000~500,000×
低倍模式200~500×
電子槍燈絲LaB6(六硼化鑭燈絲,直流加熱)
燈絲交換自動升降式電子槍
高壓電纜阻抗電纜
照射系統透鏡四級透鏡
聚光鏡光闌4孔可變
探針尺寸微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4級)
納米束模式:1 - 10 nm(4級)
電子束傾斜±3°
成像系統透鏡五級透鏡
聚焦圖像搖擺調整
利用像散監視器進行正焦補償
聚焦優化
物鏡光闌4孔可變光闌
選區光闌4孔可變光闌
電子衍射 選區電子衍射
納米探針電子衍射
會聚束電子衍射
相機長度250 - 3,000 mm
樣品室樣品臺5軸優中心海帕測角臺
樣品尺寸3mmΦ
樣品位置追蹤X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm
通過CPU控制馬達驅動
樣品位置顯示自動驅動,自動跟蹤
樣品傾斜α = ±15°, β = ±15°
(日立雙傾樣品臺*2)
防污染冷阱
烘烤功能中溫烘烤功能
觀察室熒光屏主屏:110 mmΦ
聚焦屏:30 mmΦ
目鏡7.5×
照相室區域選擇整張照相/半張曝光
膠片25張(2套膠片盒)
圖形用戶界面 操作系統:Windows XP?
顯示器19英寸顯示器
功能數據庫,測量,圖像處理
數碼CCD 相機*3相機耦合透鏡耦合
有效像素1,024 × 1,024 像素
A/D 分辨率12位
真空系統電子槍離子泵:60 L/s
鏡筒渦輪分子泵:260 L/s
觀察室/照相室擴散泵:280 L/s
前級泵:135 L/min × 3臺
  • *1

  • :放大倍率校準為可選項

  • *2

  • :可選件

  • *3

  • :本規格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數碼CCD相機

以上規格是在加速電壓為300 kV時的承諾

 



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