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USPM-RU-W近紅外顯微分光測(cè)定儀

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詳細(xì)介紹

從380nm~1050nm的可視光至近紅外實(shí)現(xiàn)大范圍波長(zhǎng)區(qū)域中的分光測(cè)定

奧林巴斯的近紅外顯微分光測(cè)定儀USPM-RU-W可以高速&高精細(xì)地進(jìn)行可視光區(qū)域至近紅外區(qū)域的大范圍波長(zhǎng)的分光測(cè)定。由于其可以很容易地測(cè)定通常的分光光度計(jì)所不能測(cè)定的細(xì)微區(qū)域、曲面的反射率,因此最適用于光學(xué)元件與微小的電子部件等產(chǎn)品。



近紅外顯微分光測(cè)定儀 USPM-RU-W:規(guī)格
反射率測(cè)定 透過(guò)率測(cè)定*1 45度反射測(cè)定*1
名稱(chēng) 近紅外顯微分光測(cè)定儀 近紅外顯微分光測(cè)定儀用
透過(guò)測(cè)定選配件
近紅外顯微分光測(cè)定儀用
45度反射測(cè)定選配件
型號(hào) USPM-RU-W
測(cè)定波長(zhǎng) 380~1050nm
測(cè)定方法 對(duì)參照樣品的比較測(cè)定 對(duì)100%基準(zhǔn)的透過(guò)率測(cè)定 對(duì)參照樣品的比較測(cè)定
測(cè)定范圍 參照下列對(duì)物鏡的規(guī)格 約2.0mm
測(cè)定
再現(xiàn)性(3σ)*2
反射率測(cè)定 使用10×、20×物鏡時(shí) ±0.02[%]以下(430-1010nm)、
±0.2[%]以下(上述以外)
±1.25[%]以下(430-1010nm)、
±5.0[%]以下(左側(cè)記載除外)
使用40×物鏡時(shí) ±0.05[%]以下(430-950nm)、
±0.5[%]以下(上述以外)
厚膜測(cè)定 ±1%  -
波長(zhǎng)顯示分解能 1nm
照明附件 專(zhuān)用鹵素?zé)艄庠础?JC12V 55W(平均壽命700h)
位移受臺(tái) 承載面尺寸:200(W)×200(D)mm  
承重:3 kg
工作范圍:(XY) ±40mm, (Z)125mm
傾斜受臺(tái) 承載面尺寸: 140(W)×140(D)mm
承重: 1 kg
工作范圍:(XT) ±1°, (YT) ±1°
裝置質(zhì)量 主體:約26 kg(PC除外) 主體:約31 kg(PC除外)*3
控制電源箱:約6.7kg
裝置尺寸 主體部位:360(W)×446(D)×606(H)mm 主體部位:360(W)×631(D)×606(H)mm
控制電源箱:250(W)×270(D)×125(H)mm
電源規(guī)格 輸入規(guī)格:100-240V (110VA) 50/60Hz
使用環(huán)境 水平無(wú)振動(dòng)的場(chǎng)所
溫度:15~30℃
濕度:15~60%RH(無(wú)結(jié)露)

*1 選件組件  *2 本社測(cè)定條件下的測(cè)定  *3 裝配透過(guò)率測(cè)定套件與45度反射測(cè)定套件的總重量為33kg。

對(duì)物鏡
型號(hào) USPM-OBL10 USPM-OBL20 USPM-OBL40
倍率 10x 20x 40x
NA 0.12 0.24 0.24
測(cè)定范圍*4 70μm 34μm 17μm
工作距離 14.3mm 4.2mm 2.2mm
樣品的曲率半徑 ±5mm~ ±1mm~ ±1mm~

*4 點(diǎn)徑

實(shí)的測(cè)定功能

使用一臺(tái)即可進(jìn)行反射率、膜厚、物體顏色、透過(guò)率、入射角45度反射率的各種分光測(cè)定。

測(cè)定反射率

測(cè)定以物鏡聚光的Φ17~70μm的微小點(diǎn)的反射率。

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反射率測(cè)定光路圖
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反射率測(cè)定例:鏡片
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反射率測(cè)定例:鏡片周邊部位

測(cè)定膜厚

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膜厚測(cè)定的圖例
活用反射率數(shù)據(jù),測(cè)定約50nm~約10μm的單層膜、多層膜的膜厚。

測(cè)定物體顏色

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物體色的測(cè)定圖例
根據(jù)反射率數(shù)據(jù)顯示XY色度圖、L*a*b*色度圖及相關(guān)數(shù)值。

測(cè)定透過(guò)率 (選配)

從受臺(tái)下部透過(guò)2mm的平行光,測(cè)定平面樣品的透過(guò)率。

image027
透過(guò)率測(cè)定光路圖

測(cè)定入射角為45度的反射率(選配)

從側(cè)面向45度面反射2mm的平行光,測(cè)定其反射率。

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45度反射率測(cè)定光路圖

域的高精度&高速測(cè)定

實(shí)現(xiàn)高速測(cè)定

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光學(xué)系圖
使用平面光柵及線傳感器進(jìn)行全波長(zhǎng)同時(shí)分光測(cè)定,從而實(shí)現(xiàn)高速測(cè)定。

最適用于測(cè)定細(xì)小部件、鏡片的反射率

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反射率測(cè)定圖例
新設(shè)計(jì)了可以在17~70μm的測(cè)定區(qū)域中進(jìn)行非接觸測(cè)定的專(zhuān)用物鏡。通常的分光光度計(jì)不能進(jìn)行測(cè)定的細(xì)小電子部件或鏡片等的曲面,也可以實(shí)現(xiàn)再現(xiàn)性很高的測(cè)定。

測(cè)定反射率時(shí),不需要背面防反射處理

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消除背面反射光的原理
將專(zhuān)用物鏡與環(huán)形照明組合,不需要進(jìn)行被檢測(cè)物背面的防反射處理,就可測(cè)定最薄0.2mm的反射率*。*使用40×物鏡時(shí),在本公司的測(cè)定條件下進(jìn)行測(cè)定。

可選擇的膜厚測(cè)定方法

根據(jù)測(cè)定的分光反射率數(shù)據(jù)進(jìn)行單層膜或多層膜的膜厚解析。可以根據(jù)用途選擇**的測(cè)定方法。

峰谷法

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峰谷法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例
這是一種根據(jù)測(cè)定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計(jì)算出膜厚的方法,對(duì)于測(cè)定單層膜是有效的。不需要復(fù)雜的設(shè)置,可以簡(jiǎn)單地求出。

傅里葉轉(zhuǎn)換法

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傅里葉轉(zhuǎn)換法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例
這是一種根據(jù)測(cè)定的分光反射率值的周期性計(jì)算膜厚的方法,對(duì)于單層膜及多層膜的測(cè)定有效。難以檢測(cè)出峰值及低谷等時(shí),可以幾乎不受噪音的影響進(jìn)行解析。

曲線調(diào)整法

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曲線調(diào)整法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例
這是一種通過(guò)推算測(cè)定的分光反射率值與根據(jù)某種膜構(gòu)造計(jì)算的反射率的差達(dá)到最小的構(gòu)造計(jì)算出膜厚的方法,對(duì)于單層膜及多層膜的測(cè)定有效。還可以進(jìn)行不會(huì)出現(xiàn)峰值及低谷的薄膜解析。

多樣化應(yīng)用

高速、高精度地應(yīng)對(duì)多樣化測(cè)定需求。

通過(guò)測(cè)定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學(xué)元件的反射率,進(jìn)行涂層評(píng)價(jià)、物體顏色測(cè)定、膜厚測(cè)定。

image016 數(shù)碼相機(jī)鏡片
投影儀鏡片
光讀取頭鏡片
眼鏡片

適用于LED反射鏡、半導(dǎo)體基板等微小電子部件的反射率測(cè)定、膜厚測(cè)定。

image017 LED包裝
半導(dǎo)體基板

適用于平面光學(xué)元件、彩色濾鏡、光學(xué)薄膜等的反射率測(cè)定、膜厚測(cè)定、透過(guò)率測(cè)定。

image018 液晶彩色濾鏡
光學(xué)薄膜

適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產(chǎn)生的反射率測(cè)定。

image019 棱鏡
反射鏡

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