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高低溫探針臺

品牌：華測
型號/貨號： Huace-6S/Huace-6S
產(chǎn)地：天津西青區(qū)
供應(yīng)商報價：￥98000

北方華測（蘇州）測控技術(shù)有限公司更新時間：2025-02-18 17:08:26

銷售范圍售全國

入駐年限第2年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品功能材料試驗(yàn)設(shè)備(38件)

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高低溫探針臺核心參數(shù)

臺體尺寸	6英寸/8英寸/12英寸	臺體水平旋轉(zhuǎn)	可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置
臺體 X-Y移動行程	6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸	臺體 X-Y移動精度	10μm/1μm
臺體樣品固定	真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)	臺體針座平臺	U型針座平臺，最多可放置6~12個探針座
臺體平臺升降	可快速升降10mm/可微調(diào)升降10mm	臺體背電極測試	樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
臺體溫度范圍	-80℃~+400℃	臺體溫度精度	0.01℃/0.1℃/1℃
臺體尺寸	840mm長600mm寬700mm高/950mm長700mm寬700mm高	臺體設(shè)備重量	約40/60KG
光學(xué)系統(tǒng) 顯微鏡類型	單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡	光學(xué)系統(tǒng) 放大倍率	16X-200X/20X-4000X
光學(xué)系統(tǒng) 移動行程	水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)/XY軸移動4英寸，Z軸行程50.8mm	光學(xué)系統(tǒng) 光源	外置LED環(huán)形光源/同軸光源
光學(xué)系統(tǒng) CCD	200萬像素/500萬像素/1200萬像素	定位器 X-Y-Z移動行程	12mm12mm12mm
定位器移動精度	10μm/2μm/0.7μm/0.5μm	定位器吸附方式	磁力吸附/真空吸附
定位器線纜	同軸線/三軸線	定位器漏電精度	10pA/100fA/10fA
定位器固定探針	彈簧固定/管狀固定	定位器接頭類型	BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
定位器針尖直徑	0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm	定位器針尖材質(zhì)	鎢鋼；鈹銅

產(chǎn)品特點(diǎn)

采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜；
優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量；
可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡；
可搭配多種類型顯微鏡；
結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計，可無縫升級

詳細(xì)介紹

概述

探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通，通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用

◆ 可用于12英寸以內(nèi)樣品測試；

◆ 采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜；

◆ 優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量；

◆ 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡；

◆ 可搭配多種類型顯微鏡；

技術(shù)參數(shù)

◆ 臺體規(guī)格

尺寸：6英寸/8英寸/12英寸；

水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置；

X-Y移動行程：6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸；

X-Y移動精度：10μm/1μm；