產品特點

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動監測工藝參數狀態，20 個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數據。

◆  PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆  采用質量流量計，  氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統，   可選多氣路氣體輸送系統。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、 四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

◆  采用多孔道進氣方式，改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆  HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆  316 不銹鋼真空艙，潔凈無污染。

◆  全真空管路系統采用 316 不銹鋼材質。

◆  處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。

◆  合理的結構設計，設備占用空間小。

◆  可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。

◆  樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

◆  使用成本低、耗損小。

◆  產品性能穩定，安裝維護，簡單方便。

◆  安全保護，艙門打開，自動關閉電源。

◆  機器運行、停止提示。