PCE-8等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為Φ8.5"×12"的石英腔體，采用的射頻電源功率0-100W連續可調節。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

主要特點

1、采用6″彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。

2、內部配有0-500mm/min的質量流量計，可以精確地控制進氣流量。

技術參數

1、電源：AC220V

2、射頻功率：最大100W，可在0-100W間調節

3、真空泵功率：<500W

4、總功率：<600W

5、射頻：13.56MHz

6、等離子腔體：高純石英腔體，外徑Φ8.5"，內徑Φ8.2"，長12"，采用鋁制折疊式法蘭進行真空密封，法蘭設有一個

Φ60mm的觀察窗口

7、極限真空度：50mtorr

8、通入氣體：可通入多種氣體，如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合氣體等等（根據材料性質所定）

清洗及蝕刻

產品規格

尺寸：620mm×450mm×600mm

標準配件

1、直連式雙旋真空泵（240L/min）

2、KF25波紋管

3、KF25手動擋板閥

可選配件

1、300W、600W射頻電源（進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗）

2、2″-6″石英舟（盛放基片）

3、2-4通道浮子混氣系統

4、2-4通道質子混氣系統