PCE-3等離子清洗機使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機物污染，在射頻電源的作用下，最大去除速率為10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理，將對生長具有顯著的作用。

主要特點

1、使用可調射頻電源，可以設置低、中、高功率。

2、桌上型設備，結構緊湊、操作安全、環境友好、低成本。

技術參數

1、輸入電壓：110V/220V、50Hz/60Hz （請提前選定），小于100W

2、輸出功率：13.56MHz

3、等離子直流電源：低功率設定680V，10mA，6.8W；中功率設定700V，15mA，10.5W；

高功率設定720V，25mA，18W

4、等離子腔室：Φ75mm×165mm，耐熱玻璃，前蓋可拆卸

5、通入氣體：可通入多種氣體，如N₂、Ar、空氣、混合氣體等，主要根據處理材料性質所定

6、真空泵和閥的要求：>160L/min，極限壓力200mtorr（0.27mbar），可選擇數字真空表，針閥控制氣體流量，采用三通閥門 快速控制進氣、密封等離子腔室、排氣

清洗及蝕刻

產品規格

尺寸：200mm×250mm×210mm

重量：8kg（不含泵）

注意事項

不能使用可燃性氣體

可選配件

本司研發的電阻真空計

以Pirani電阻規在不同真空環境下提現的熱傳導性為原理而研發的一款低真空測量儀器，特別適應于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環境的真空測量。