一、 簡介

UVISEL光譜型相調制橢圓偏振儀(SPME)是一款的儀器，它采用光彈性晶體來調制偏振光，而不是傳統橢偏技術中的機械偏光裝置。
與傳統橢偏儀相比，UVISEL光譜型橢偏儀能夠在全譜范圍內測橢偏角(Y, D)，從而可以對透明襯底、超薄薄膜和折射率接近的樣品進行特性分析。
相調制技術的原理，使得UVISEL光譜型橢偏儀能夠進行參數測量，包括較為化度、各向異性以及Mueller矩陣元素的確定。高達1毫秒/每數據點的快速數據采集速率，使得UVISEL成為動態研究和液態表面測量的可靠的解決方案。
UVISEL是一臺多功能的光譜型橢偏儀。它覆蓋了190nm到2100nm的寬光譜范圍，而且提供了一系列的自動選件和附件來增強系統的功能、滿足您的實驗需求。模塊化的設計使得UVISEL配置靈活，可以離線、在線甚至為減小占地面積和滿足超凈間要求而集成到一個機柜中。

二、 技術特點

光譜型相調制橢圓偏振儀

精度和靈敏度良好

寬光譜范圍：142到2100納米

模塊化設計

包含成熟的光譜型橢圓偏振儀軟件包

自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應池、液體池、密封池等多種附件

三、主要應用

測量厚度、反射率和透射率、折射率等光學常數

單層膜或多層膜疊加

單一膜層

液態膜層

四、技術能力

光譜波長范圍：190-2100nm

光源：75W Xe燈

光斑大小：標配<3mm，小光斑50μm可選

探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優化的PMT和IGA探測器

自動樣品臺尺寸：6/8寸多種樣品臺可選

自動量角器：變角范圍35° - 90°，全自動調整，小步長0.01°

五、應用

半導體薄膜：光刻膠、工藝薄膜、介電材料

液晶顯示：OLED、玻璃厚度、ITO

光學鍍膜：硬涂層厚度、減反涂層

高分子薄膜：PI、PC