電子束刻蝕系統
是在半導體工藝，按照掩模圖形或設計要求對半導體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性腐蝕或剝離的技術。不僅是半導體器件和集成電路的基本制造工藝，而且還應用于薄膜電路、印刷電路和其他微細圖形的加工。刻蝕還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。由于曝光束不同，刻蝕技術可以分為光刻蝕、X射線刻蝕、電子束刻蝕和離子束刻蝕。
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電子束刻蝕系統產品列表
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感應耦合等離子刻蝕機 STS Multiplex ICP
- 品牌：STS
- 型號：Multiplex ICP
- 產地：歐洲 英國
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反應離子刻蝕系統
- 品牌：美國Rocky Mountain
- 型號：RIE
- 產地：美洲 美國
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Oxford RIE反應離子刻蝕機PlasmaPro 80
- 品牌：牛津儀器
- 型號：PlasmaPro 80
- 產地：歐洲 英國
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英國Oxford 反應離子刻蝕機PlasmaPro 800 RIE
- 品牌：英國牛津
- 型號：PlasmaPro 800 RIE
- 產地：歐洲 英國
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美國Trion Technology反應式離子刻蝕(RIE/ICP)系統及沉積(PECVD)系統
- 品牌：美國Trion
- 型號：RIE/ICP
- 產地：美洲 美國
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System 100 等離子刻蝕與沉積設備
- 品牌：牛津儀器
- 型號：System 100
- 產地：歐洲 英國
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德國Sentech等離子刻蝕機 ICP-RIE SI 500
- 品牌：德國Sentech
- 型號：ICP-RIE SI 500
- 產地：歐洲 德國
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Etchlab200 德國Sentech 經濟型反應離子刻蝕機(可升級)
- 品牌：德國Sentech
- 型號：Etchlab200
- 產地：歐洲 德國
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德國Sentech 200 RIE 離子刻蝕與沉積系統
- 品牌：德國Sentech
- 型號：200 RIE
- 產地：歐洲 德國
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Oxford System 100 等離子刻蝕與沉積設備
- 品牌：牛津儀器
- 型號：Oxford System 100
- 產地：歐洲 英國
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刻蝕機 NRE-4000（A）全自動反應離子刻蝕 那諾-馬斯特
- 品牌：美國那諾-馬斯特
- 型號：NRE-4000（A）
- 產地：美洲 美國
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反應離子刻蝕 RIE刻蝕機 那諾-馬斯特
- 品牌：美國那諾-馬斯特
- 型號：RIE刻蝕機
- 產地：美洲 美國
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刻蝕設備 NDR-4000（A）全自動DRIE深反應離子刻蝕 那諾-馬斯特
- 品牌：美國那諾-馬斯特
- 型號：NDR-4000（A）
- 產地：美洲 美國
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CIONE系列Mini 等離子反應離子刻蝕機
- 品牌：韓國Femto Science
- 型號：CIONEMini
- 產地：亞洲 韓國
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美國 那諾-馬斯特 NRE-3500 (A) 全自動RIE反應離子刻蝕機
- 品牌：美國Nano-Master
- 型號：-NRE-3500(A)RIE
- 產地：美洲 美國
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絕緣電阻劣化（離子遷移）評估系統
- 品牌：北京華測
- 型號：
- 產地：北京 順義區
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等離子刻蝕ICP
- 品牌：美國Trion
- 型號：Minilock-Phantom III ICP
- 產地：美洲 美國
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善準科技等離子刻蝕機VP-RS15
- 品牌：善準科技
- 型號：VP-RS15
- 產地：廣東 廣州
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NMC ICP反應離子刻蝕機
- 品牌：北京華測
- 型號：NMC ICP
- 產地：美洲 美國
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￥554 -
反應離子刻蝕機PlasmaStar 200
- 品牌：美國AXIC
- 型號：PlasmaStar 200/200RIE
- 產地：美洲 美國
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￥1 -
等離子刻蝕機PlasmaStar 100
- 品牌：美國AXIC
- 型號：PlasmaStar 100/100RIE
- 產地：美洲 美國
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上海沛沅CCP等離子刻蝕機
- 品牌：上海PLUTOVAC
- 型號：WINETCH
- 產地：上海 浦東新區
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上海沛沅ICP等離子刻蝕機
- 品牌：上海PLUTOVAC
- 型號：WINETCH
- 產地：上海 浦東新區
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德國SENTECH ICP等離子/ RIE反應離子刻蝕機
- 品牌：德國Sentech
- 型號： ICP/ RIE
- 產地：歐洲 德國
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英國 SPTS深硅刻蝕機/等離子刻蝕機
- 品牌：英國SPTS
- 型號： SPTS-01
- 產地：歐洲 英國
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電子束刻蝕 NIE-3500（R）RIBE反應離子束刻蝕 那諾-馬斯特
- 品牌：美國那諾-馬斯特
- 型號：NIE-3500（R）
- 產地：美洲 美國
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成都真空設備廠家 surpass大口徑等離子刻蝕機 半導體刻蝕 離子束刻蝕 反應離子刻蝕 可定制
- 品牌：超邁光電
- 型號：CM-015
- 產地：四川 成都
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￥1000000 -
成都真空設備廠家 research熱蒸發/磁控濺射 多靶復合磁控濺射鍍膜機 離子刻蝕機功能 可定制
- 品牌：超邁光電
- 型號：CM-008
- 產地：四川 成都
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￥1000000 -
鄭科探等離子刻蝕機清洗機去膠機
- 品牌：鄭州科探儀器
- 型號：KT-S2DQX
- 產地：河南 鄭州
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- 電子束刻蝕系統
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